Buradasınız

KATODİK VAKUM ARK YÖNTEMİ İLE KAPLANAN ZrN KAPLAMALARA PULSE BİAS VOLTAJININ ETKİSİ

EFFECT OF PULSE BIAS VOLTAGE ON ZrN COATINGS BY CATHODIC VACUUM ARC

Journal Name:

Publication Year:

Keywords (Original Language):

Abstract (2. Language): 
In this study, production and characterization of ZrN coatings by cathodic vacuum arc technique under pulse bias voltages are investigated. ZrN thin film coatings were applied on the High Speed Steel (HSS) samples, which were heat treated before coating. The coating thickness, surface roughness, elastic modulus, microhardness and adhesion strength (Scratch and Rockwell C) were also determined, and the data were evaluated after X-Ray analysis. As a result, 200 pulse voltage was found as a good combination for ZrN coating.
Abstract (Original Language): 
Bu çalışmada, katodik vakum ark yöntemiyle ile kaplanan ZrN (zirkonyum nitrür) kapalamaların pulse bias voltajlar altında üretimi ve karakterizasyonu incelenildi. Altlık malzeme olarak yüksek hız çeliğine (YHÇ) kaplanmadan önce ısıl işlem uygulandıktan sonra bu tabanlar üzerine ZrN kaplanıldı. Pulse bias voltajı ile kaplanan ZrN kaplamaların kaplama kalınlıkları, mikrosertlikleri, elastisite modülü, yüzey pürüzlülükleri ve yapışma (çizik ve Rockwell C)dayanımı tespit edildi. X-Ray analizinden sonra bütün veriler değerlendirildi. Sonuçda en iyi ZrN kaplamanın 200 pulse bias voltajında olduğu bulundu..
FULL TEXT (PDF): 
49-57

REFERENCES

References: 

[1] Gündüz O., “Ark Fiziksel Buhar Biriktirme Yöntemiyle Zrn Kaplamaların Farklı Bıas
Voltajlarında Üretimi Ve Karakterizasyonu” Yüksek Lisans Tezi, Fen Bilimleri Enstitüsü,
M.Ü., 2004.
[2] Huang J.H., Hsu C.Y., Chen S.-S., Yu G.P., “Effect of substrate bias on the structure and
properties of ion-plated ZrN on Si and stainless steel substrates” ,Materials Chemistry and
Physics 7714–21, (2002) .
[3] Chou Wen-jun., Yu Ge-Ping., Huang Jia-Hong., “Corrosion Resistance of ZrN Films on
AISI 304 Srainless Steel Substrate” , Surf.Coat.Tech., 211-217, 2001.
[4] Nose M., Zhou M., Honbo E., Yokota M., Saji S.,“ Colorimetric properties of ZrN and
TiN coatings prepared by DC reactive sputtering”, Surf. Coat. Technol. 142-144, (2001).
[5] Mcgregor D.R. “Growth Optimization and Characterization of Reactively Sputtered
Zirconium Nitride Thin Flims For III-V Buffer Layer Applications” MSc. Nort Caroline
State University, (2002).
[6] www.swiss-tekcoatings.com, Swiss Tek Coatings Inc. High Performance PVD Tool
Coatings (2004).
[7] Lee Jyh-Wei ., Duh Jenq-Gong., Wang Jyh-Hwa., ” Mechanical property evaluation of
cathodic arc plasma-deposited CrN thin films on Fe-Mn-Al-C alloys” , Surf. Coat.
Technol. ,223-230, (2003).
[8] Gruss K.A., Davis R.F.,”Adhesion measurement of zirconium nitride and amorphous
silicon carbide coatings to nickel and titanium alloys” Surf. Coat. Technol. 114 ,156–
168, (1999).
[9] Shum P.W., Z.F. , Zhou K.Y. Li , Chan C.Y., “Mechanical and tribological properties of
amorphous carbon films deposited on implanted steel substrates” ,Thin Solid Films ,458,
203–211, (2004).
[10] Türküz C., Gündüz O., Salman S., “FBB Yöntemi ile Biriktirilen ZrN Kaplamaların
Özelliklerinin İncelenmesi”, Denizli Malzeme Sempozyumu ve Sergisi, 14-15-16 Nisan,
(2004).

Thank you for copying data from http://www.arastirmax.com