You are here

Home » Content

SAYDAM İLETKEN KAPLAMALARIN OPTİK VE ELEKTRİK PARAMETRELERİNİN ÜRETİM

RELATION OF THE OPTICAL AND ELECTRICAL PARAMETERS WITH

Journal Name:

  • Sigma Mühendislik ve Fen Bilimleri Dergisi

Publication Year:

  • 2007

Key Words:

Keywords (Original Language):

Author NameUniversity of AuthorFaculty of Author
Abstract (2. Language): 
That the electric and optic parameters of glass coated with ITO containing an additive are affected according to the parameters has been observed using the reactive dc magnetron sputtering technique in this study. For different values of process parameters like the flow of argon gas, the flow of oxygen gas, power, transition speed and transmission number, optic transmission and the electrical conductivity values shown by transparent conductor glass coated with ITO are seen to be changing in the opposite direction to each other as expected. The increase in conductivity causes the decrease in transmission. The values of process parameters that provide an optimum level for these two parameters have been searched. In experiments, the values determined in advance for the flow of argon gas, transition speed and transition number have been used and only the flow of oxygen gas and power parameters have been changed. At the end of the change in these two parameters, % 78 and 65 ohm per square values for transmission and conductivity of glass have been got as the optimal values.
Bookmark/Search this post with
Abstract (Original Language): 
Bu çalışmada, reaktif dc magnetron sıçratma tekniği kullanılarak katkılı ITO (İndium kalay oksit) ile kaplanan camın elektrik ve optik parametrelerinin, üretim parametrelerine bağlı etkilenişi incelenmiştir. Argon gazı debisi, oksijen gazı debisi, güç, geçiş hızı ve geçiş sayısı gibi üretim parametrelerinin değişik değerleri için, ITO kaplı (saydam iletken) camın gösterdiği optik geçirgenlik ve elektriksel iletkenlik değerlerinin, beklenildiği gibi birbirine göre ters yönde değiştiği gözlenmektedir. İletkenliğin artması, geçirgenliğin azalmasına neden olmaktadır. Bu iki parametre için optimum bir düzey sağlayan üretim parametrelerinin değerleri araştırılmıştır. Deneylerde argon gazı debisi, geçiş hızı ve geçiş sayısı için önceden belirlenen değerler kullanılmış, oksijen gazı debisi ve güç parametrelerinin değiştirilmesiyle yetinilmiştir. Bu iki parametredeki değişim sonunda camın geçirgenliği ve iletkenliği için % 78 ve 65 ohm/kare değerleri, optimal değerler olarak elde edilmiştir.
FULL TEXT (PDF): 
PDF icon arastrmx_845_25_pp_32-47.pdf
  • 1
32-47
  • Turkish

REFERENCES

References: 

[1] Kamei M., Enomoto H., Yasui I.,"Origin of the crystalline orientation dependence of the
electrical properties in tin-doped indium oxide films", Thin Solid Films, 392, 265-268,
2001.
[2] Lewis B.G., Paine D.C., "Applications and processing of transparent conducting oxide",
MRS Bulletin, Ağustos 2000.
[3] Arıer Ö.Ü.,"Saydam İletken Kaplamaların Optik ve Elektrik Parametrelerinin Üretim
Parameterelerine Bağımlılığı ", Yüksek lisans tezi, Mimar Sinan Üniversitesi Fen
Fakültesi Fizik Bölümü, Temmuz 2004.
[4] International Standard ISO 9050 Glass in bulding-Determination of light transmittance,
total solar energy transmittance and ultraviolet transmittance, and related glazing factors.
[5] European standard EN 410 Glass in bulding-Determination of luminous and solar
characteristics of glazing.
[6] Chan J., ESD Journal-The ESD elektrostatics Magazine.htm, Spring, 1994.
[7] Bashar S.A.,"Study of ITO for novel optoelectronic devices", Ph. D. Thesis, university of
London, 1998.
[8] Deng W., Ohgi T., Nejo H. and Fujita D.,"Characteristics of indium tin oxide films
deposited by dc and rf magnetron sputtering", National Research Institute for Metals, 305-
0047, Japan, 15 Şubat 2000.
[9] Meng L., Maçarico A. and Martins R., "Study of annealed indium tin oxide films prepared
by rf reactive magnetron sputtering", Pergamon 0042-207X(94)00150-2,
Cemop/Uninova, Quinta de Torre, 2825 Monte da Caparica, Portugal, 14 Ekim 1994.
[10] Prof. Dr. Durlu T.N., "Katıhal Fiziğine Giriş", Ankara Üniversitesi, ISBN-975-556-000-9.
[11] Karaoğlu B., "Katıhal Fiziğine Giriş", Kıttel C. çevirisi, Güven yayınları, 1996.
[12] Huang, J.L., Yau, B.S., Chen, C.Y., Lo, W.T., Lii, D.F., "The Electromagnetic shielding
effectiveness of indium tin oxide films", Departman of Materials Science and
Engineering, National Cheng-Kung University, Ceramics International 27 (2001), 363-
365, 2000.

Thank you for copying data from http://www.arastirmax.com